机译:电子回旋共振化学气相沉积在氢化硼掺杂SiC薄膜制备中的应用
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机译:新型热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积系统制备高质量氢化非晶硅膜
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机译:80℃电子回旋共振化学气相沉积法制备微晶硅薄膜。
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:不锈钢薄膜的沉积:电子束物理气相沉积方法
机译:偏压对电子回旋共振等离子体在CoCrMo合金上制备的氢化非晶碳膜性能的影响增强了化学气相沉积(ECR-PECVD)