机译:通过不同的薄层分析方法确定硅晶片中浅注入层的深度分布
depth profiles; implantation; si-wafter; thin-layer analysis; total-reflection X-ray fluorescence (TXRF);
机译:通过不同的薄层分析方法确定硅晶片中浅注入层的深度分布
机译:重复分层蚀刻后通过全反射X射线荧光分析和卢瑟福背散射光谱法确定的钴注入硅晶片的浅层轮廓比较
机译:通过重复化学刻蚀和全反射X射线荧光分析对硅片中浅层进行深度剖析的新方法
机译:血浆植入样品的不同表征技术的比较具有高掺杂和浅注入层的血浆植入样品:剂量测量,轮廓,蚀刻或沉积表征
机译:利用SIMS开发超浅掺杂植入物的高分辨率深度剖析。
机译:通过二维薄层色谱法测定羊水磷脂谱作为胎儿肺成熟的指标。
机译:通过高分辨率掠射发射X射线荧光技术确定注入到硅晶片中的Al杂质的深度分布