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机译:勘误至:“ SiO_x膜沉积和退火后,硅表面上的电子态”(半导体,(2011),45,(587))
机译:勘误至:“ SiO_x膜沉积和退火后,硅表面上的电子态”(半导体,(2011),45,(587))
机译:除了表面纳米内狭窄:结合静态和动态纳米indentation,评估化学气相沉积非晶氧化硅(SiO_x)和氧化硅(SiO_XC_Y)薄膜的内在力学性能
机译:沉积和退火温度对原子层沉积获得的二氧化硅膜生长性能和表面钝化的影响
机译:电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积沉积SiO_x薄膜的光学和成分分析
机译:对III-V族化合物半导体的等离子退火(等离子沉积,硅氮化物,离子注入)进行俄歇电子和X射线光电子能谱研究。
机译:利用远程等离子体原子层沉积系统沉积的HfO2薄膜对硅进行表面钝化
机译:错误:“SiO X薄膜沉积和退火后硅表面上的电子状态”
机译:通过氮化硅薄膜沉积研究硅表面钝化:最终报告,1983年9月1日 - 1986年8月31日