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机译:基于KOH溶液的多步形硅微结构对多角形微结构的研究
Anisotropic etching; Polygon-shaped microstructures; Potassium hydroxide; Silicon;
机译:基于KOH溶液的多步形硅微结构对多角形微结构的研究
机译:碱性溶液中的硅各向异性刻蚀III:关于在KOH和KOH + IPA溶液中Si(100)各向异性刻蚀过程中形成空间结构的可能性
机译:碱性溶液中的硅各向异性蚀刻III:关于在KOH和KOH加IPA溶液中Si(100)各向异性蚀刻过程中形成空间结构的可能性
机译:PPB级表面活性剂在5%KOH水溶液中完美吸附在硅表面上,从而改变了各向异性刻蚀性能
机译:研究铝镁硅硅合金的微观组织演变及其对机械各向异性行为的影响。
机译:KOH溶液中Si的一步各向异性湿法腐蚀制备的两层微结构
机译:在KOH溶液中通过一步各向异性湿法蚀刻si制备双层微结构
机译:利用两步各向异性蚀刻和离子注入制造V-mOs场效应晶体管的方法