机译:KOH各向异性湿化学腐蚀过程中单晶硅表面的微观形貌:速度源森林
机译:KOH各向异性湿化学腐蚀过程中单晶硅表面的微观形貌:速度源森林
机译:晶体硅各向异性湿化学刻蚀中表面覆盖效应的原子模拟
机译:单晶硅各向异性湿法刻蚀特性的表征:KOH溶液中ppb级的Cu和Pb的影响
机译:湿式各向异性KOH蚀刻产生粗糙(110)硅平面的表面抛光
机译:用于纳米级应用的硅湿各向异性刻蚀机理。
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:用细胞自动机模拟单晶硅的各向异性化学蚀刻