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机译:晶圆级真空封装的三轴加速度计,在商用MEMS工艺中具有较低的横轴灵敏度
Multi-axis MEMS accelerometer; Tri-axial capacitive accelerometer; Low cross-axis sensitivity; Decoupled frames; Wafer level vacuum encapsulation; 3-Axis inertial sensor;
机译:晶圆级真空封装的三轴加速度计,在商用MEMS工艺中具有较低的横轴灵敏度
机译:晶圆级真空封装的速率陀螺,具有商业MEMS过程的高质量因子
机译:以商用MEMS工艺制造的晶圆级真空封装呼吸模式环形谐振器
机译:商用过程中具有零交叉轴灵敏度的三轴电容式低重力MEMS加速度计的设计
机译:晶圆级封装的高性能MEMS可调无源和带通滤波器
机译:晶圆级真空封装电容式加速度计采用未经修改的商业MEMS工艺制造
机译:在未经修改的商用mEms工艺中制造的晶圆级真空封装电容式加速度计