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机译:用于微辐射热计红外探测器的离子束溅射Ge-Si-O非晶薄膜及其在地球传感器中的应用
Detectivity; IR detectors; Micro-bolometer; Micro-machining; Responsivity; Thin films;
机译:用于微辐射热计红外探测器的离子束溅射Ge-Si-O非晶薄膜及其在地球传感器中的应用
机译:反应粒子束辅助溅射工艺沉积用于硬掩模的非晶碳薄膜
机译:用于集成传感器应用的非晶Ge_xSi_1-xO_y溅射薄膜
机译:非晶硅薄膜,用于非冷却型红外微辐射热传感器
机译:非晶膜微结构及其器件应用:应变传感器,测微辐射热计,薄膜晶体管和太阳能电池
机译:用于测微辐射热计和天线耦合测微辐射热计的五氧化二钒/钒多层薄膜的温度相关电阻特性
机译:通过离子束溅射产生的无定形Ni-TA-Pt薄膜稀NaCl溶液中的电极特性,以及离子照射对膜特性的影响。
机译:非晶硅薄膜的一些性质及其在传感器中的应用 - (I)功率传感器。