金属微反射镜对非制冷氧化钒微测辐射热计的红外辐射吸收率r影响分析与一种改进的微测辐射热计模型

摘要

从光学角度出发,首先讨论了单层VOx微测辐射热计中探测单元衬底上的金属反射镜的厚度以及材料对微测辐射热计红外吸收率的影响,利用软件建立了微测辐射热计的红外辐射吸收率模型,得到了厚度不同的Al反射镜对微测辐射热计模型8～14μm红外波段吸收率的影响以及厚度为0.1μm的3种不同材质的金属反射镜对同一模型红外吸收率的影响.当厚度等其他参数相同时,使用Al、Copper和Gold用作金属反射镜的材料,单层VOx微测辐射热计模型在8～14μm波段的红外吸收率并没有明显区别.另外,我们改进了一种已有的VOx微测辐射热计结构并对比了改进前后模型8～14μm红外波段的吸收率,改进后的模型平均吸收率达到了94％大于改进前初始模型的90％左右.最后,我们讨论了真空谐振腔高度与微测辐射热计桥面材料厚度对工作波段吸收率峰值处波长的影响.