机译:基于单和双S形PZT执行器的压电驱动MEMS反射镜的二维扫描应用研究
Microelectromechanical systems (MEMS); Micromirror; Optical MEMS; Piezoelectric actuator; PZT;
机译:基于单和双S形PZT执行器的压电驱动MEMS反射镜的二维扫描应用研究
机译:具有5V兼容两轴PZT驱动的MEMS扫描镜,具有机械杠杆结构,适用于微型LiDAR应用
机译:压电驱动MEMS扫描镜的设计与振动分析及其在激光投影中的应用
机译:基于单个S形PZT执行器的压电驱动MEMS镜面研究
机译:压电致动器驱动的自适应结构的机电系统耦合建模和实验研究。
机译:基于2D扫描MEMS镜的定制的两个光子荧光成像探针包括电热两级梯双S形致动器
机译:基于单S形PZT驱动器的压电驱动MEMS反射镜的研究
机译:大孔径可变形反射镜,带有转移的单晶硅膜,采用大行程pZT单晶片执行器驱动