二维MEMS扫描反射镜转角标定系统及标定方法

摘要

本发明公开了一种二维MEMS扫描反射镜转角标定系统及标定方法，其中，标定系统包括：光学平台；高精度激光准直组件产生可见光高准直度的激光光束入射到待标定反射镜上；待标定反射镜将激光光束反射至激光光斑探测组件；激光光斑探测组件接收反射的激光光束并形成激光光斑，并将激光光斑成像至转角标定组件；转角标定组件与待标定反射镜连接，转角标定组件采集在不同驱动电压下的激光光斑的质心位置，并将质心位置和激光光斑探测组件中的水平、竖直位移平台的绝对位置转换成二维角度信息拟合得到转角标定系数。本发明可完成大转角范围高精度转角标定工作，标定数据应用于火星车自主着陆点选择系统，可快速准确完成着陆点的选择。