机译:基于单和双S形PZT执行器的压电驱动MEMS反射镜的二维扫描应用研究
机译:基于溶胶-凝胶高纵横比PZT结构的横向驱动压电双压电晶片MEMS执行器的制作与表征
机译:基于机加工的40μmPZT厚膜的预应力压电双压电晶片微执行器:批量制造并与MEMS集成
机译:基于单个S形PZT执行器的压电驱动MEMS镜面研究
机译:用于压电MEMS机械能收集的PZT薄膜。
机译:基于2D扫描MEMS镜的定制的两个光子荧光成像探针包括电热两级梯双S形致动器
机译:使用压电PZT束致动器的二维MEMS扫描镜
机译:大孔径可变形反射镜,带有转移的单晶硅膜,采用大行程pZT单晶片执行器驱动