机译:在单晶硅膜片上具有应变和温度传感器阵列的多功能集成式硅触觉成像仪
Microsensors; Multifunctional integration; Silicon-MEMS; Smart sensors; Tactile sensors;
机译:在单晶硅膜片上具有应变和温度传感器阵列的多功能集成式硅触觉成像仪
机译:低温多晶硅面板上集成的硅纳米晶体光电传感器
机译:对“在塑料基板上使用单晶硅纳米带的组装的压阻应变传感器和多路复用阵列”的更正[Nov 11 4074-4078]
机译:多功能智能触觉图像传感器,在单个气压硅膜片上集成了应变和温度传感器的集成阵列
机译:多晶硅氮化硅和单晶硅的高温腐蚀和磨损
机译:用于单片三维集成电路应用的低成本和低温多晶硅纳米线传感器阵列的制造
机译:4采用集成压敏电阻像素电路的膨胀隔膜大变形的三维硅智能触觉成像仪
机译:由单片硅集成电路和压电聚偏二氟乙烯薄膜制成的机器人触觉传感器