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机译:编写FIB注入和随后的各向异性湿法化学刻蚀,以在硅中制造3D结构
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机译:使用近场扫描光学光刻和硅各向异性湿法刻蚀工艺制备高纵横比的硅纳米结构
机译:湿各向异性刻蚀制造薄硅结构
机译:通过直接FIB写入和TMAH湿法化学刻蚀制造硅纳米结构
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:苯并环丁烯聚合物与各向异性湿法刻蚀制备的硅微机械结构的集成