机译:硅传感系统的MEMS惯性技术
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机译:基于硅的低g微机电系统惯性开关,用于线性加速度传感应用
机译:基于MEMS技术的基于MEMS技术的集成三维微螺线管巨型磁阻传感系统
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机译:用于惯性传感器的Silicon-CMOS-MEMS技术
机译:基于MEMS体硅技术的三维微位移传感系统
机译:基于mEms Bulk-silicon技术的三维微位移传感系统
机译:微系统惯性传感技术概述