dimensional metrology piezoresistor MEMS microtactile sensor;
机译:基于MEMS体硅技术的三维微位移传感系统
机译:基于MEMS技术的基于MEMS技术的集成三维微螺线管巨型磁阻传感系统
机译:用于光电异构系统的CMOS,MEMS和光子电路的三维混合集成技术
机译:基于微位移技术的图像测量系统自动校准
机译:基于柔性聚合物的MEMS技术的发展,用于神经修复系统中的集成机械感测
机译:用于声流体应用的基于三维(3D)微流体的微机电系统(MEMS)的增材制造
机译:基于mEms Bulk-silicon技术的三维微位移传感系统