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机译:SiO2 / Si3N4和SiNx / Si3N4双层钝化的AlGaN / GaN结构的电容电压和俄歇化学性质研究
gallium nitride; HEMT; insulated gate; passivation; C-V; Auger spectroscopy; chemical in-depth profiles; FIELD-EFFECT TRANSISTORS; MOLECULAR-BEAM EPITAXY; HIGH-TEMPERATURE; HETEROSTRUCTURES; PERFORMANCE; CONTACT; GROWTH; SCHEME; HFETS; SIO2;
机译:SiO2 / Si3N4和SiNx / Si3N4双层钝化的AlGaN / GaN结构的电容电压和俄歇化学性质研究
机译:在两层Si3N4 / SiO2介电掩模上,用于与AlGaN / GaN HEMT的低电阻欧姆接触
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机译:电化学电容-电压谱法测定氮化镓/氮化镓铝纳米结构中的载流子浓度
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机译:Si3N4 / AlGaN / GaN-金属 - 绝缘体 - 半导体异质结构场效应晶体管
机译:自对准aLD alOx T栅极绝缘体,用于siNx钝化alGaN / GaN HEmT中的栅极漏电流抑制