机译:用于高频超声换能器的PZT陶瓷和PMN-PT单晶的深反应离子刻蚀
1-3 composite piezoelectric material; High frequency ultrasound transducer; Micromachining fabrication; ICP deep reactive ion etching;
机译:用于高频超声换能器的PZT陶瓷和PMN-PT单晶的深反应离子刻蚀
机译:用于NDE的PMN-PT单晶,PZT和基于PZT的1-3复合超声换能器的制作和比较
机译:PZN-PT,PMN-PT单晶和PZT陶瓷用于振动能量收集的比较
机译:单晶与PZT陶瓷在医疗超声领域的应用
机译:高频(〜100MHz)PZT厚膜超声换能器和阵列的开发。
机译:深度反应离子刻蚀在单晶金刚石中形成精密的微机械零件
机译:用于通过深反应离子蚀刻制造的大型位移的多个深度,单晶硅微循环