机译:采用多步深反应离子刻蚀工艺制造压电喷墨打印头微致动器膜的方法
机译:软紫外线印刷光刻和低温深反应离子蚀刻制造的晶体硅柱的纳米indentation
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机译:深度反应离子刻蚀单晶硅中的大位移微执行器
机译:在单晶碳化硅衬底上外延生长的六价铁酸钡薄膜的生长和高速率反应离子刻蚀。
机译:锗和硅的时分复用深反应离子刻蚀—机理比较及在X射线光学中的应用
机译:双光刻和深反应离子刻蚀制备的疏水性硅纳米结构阵列的大规模图案化