机译:在10-16 nm波长范围内的强氙气毛细管放电极紫外光源
机译:在10-16 nm波长范围内的强氙气毛细管放电极紫外光源
机译:高电离氙气毛细管放电等离子体中5-20 nm光谱区域中的氙发射光谱识别
机译:13.5 nm的强等离子体放电源,用于极紫外光刻
机译:Xe填充的毛细管Z捏放电光源,用于极紫外(EUV)光刻
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:用于极端紫外线光刻的135nm强度等离子体放电源
机译:强脉冲质子源:时间和波长分辨研究氙,液体氙和XeF2