ナノスケール無機自立膜の製造--シヤボン膜を利用する簡便なプロセス

摘要

気体や液体を二つに仕切る自立膜は、バイオセンサーや分離膜などの重要な構成要素です。 これらの微細化あるいは高性能化には、自立膜のサイズ（厚み）をサブミクロンオーダーにする必要があります。 一般に、極薄の無機自立膜の製造には、フォトリソグラフィー法が用いられます。 この方法は、複雑な形状をもつ自立膜の製造には最適ですが、デポジション、パターニング、エッチングなどの工程を何度も繰り返さなければなりません。 一方、ナノ厚みの自立膜には、バイオエタノールの精製や温暖化ガスの削減のための分離膜としての期待が集まっていますが、このような目的には、安価で簡便、かつ環境負荷が小さな製造プロセスの開発が必要となります。