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机译:通过远程磁控溅射技术发射掺有Er的a-SiOx(Er)膜和a-SiOx(Er)/ a-Si:H微腔
HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON; H/A-SIOX-H; ACTIVE LAYER; OPTICAL-PROPERTIES; ERBIUM; PHOTOLUMINESCENCE; EMISSION; GROWTH; BAND;
机译:通过远程磁控溅射技术发射掺有Er的a-SiOx(Er)膜和a-SiOx(Er)/ a-Si:H微腔
机译:and和氧对DC的光致发光强度和直流磁控溅射沉积的a-SiOx:(H,Er,O)薄膜组成的影响
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