机译:用于纳米定位的3自由度洛伦兹力驱动的平面运动平台的建模与分析
Nanopositioning; Planar motion stage; Lorentz motor; Air-bearing; Master-slave control;
机译:用于纳米定位的3自由度洛伦兹力驱动的平面运动平台的建模与分析
机译:基于SOI-MEMS的3自由度平面并联运动纳米定位平台
机译:使用电磁马达的具有3-DOF平面运动的紧凑型超精密空气轴承平台
机译:三维阻尼弯曲引导纳米定位阶段的设计与分析*
机译:基于范围的双级系统控制:用纳米定位阶段的应用设计与分析
机译:基于Mark-Segmented PI模型的往复线性电压下压电纳米定位阶段的磁滞补偿
机译:使用形状记忆合金恢复技术(SMART)线性致动器的3-DOF U形基础平面平行机器人运动阶段的工作区分析
机译:动态数字刀片行压缩组件稳定性模型。平面压力脉冲产生和两级风扇试验数据的模型验证与分析。