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机译:微机械共振结构在粘结传感器系统密封性测量中的应用
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机译:通用汽车宣布用于燃料电池和氧气传感器应用的高温密封系统
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机译:用于惯性测量系统的集成微机械共振传感器。
机译:用于全SiC压阻式压力传感器应用的SiC密封腔结构的制造
机译:用于传感器应用的新型微机械隧道结构
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