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Micromachining and Microfabrication Process Technology
Micromachining and Microfabrication Process Technology
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1.
Batch-dissolved wafer process for low-cost sensor a
机译:
批量溶解晶圆工艺的低成本传感器
作者:
Steve T. Cho
;
Silicon Video Corp.
;
San Jose
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
2.
Development of a deep silicon plasma etching process for sensor a
机译:
开发用于传感器的深硅等离子体蚀刻工艺
作者:
Y.X. Li
;
Delft Univ. of Technology
;
Delft
;
Netherlands
;
Reinoud F. Wolffenbuttel
;
Delft Univ. of Technology
;
Delft
;
Netherlands.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
3.
Etching technology and applications for through-the-wafer siliconetching,
机译:
晶圆硅蚀刻的蚀刻技术和应用,
作者:
David R. Craven
;
Alcatel Comptech Inc.
;
San Jose
;
CA
;
USA
;
Keven Yu
;
Alcatel Comptech Inc.
;
San Jose
;
CA
;
USA
;
Tam Pandhumsoporn
;
Alcatel Comptech Inc.
;
San Jose
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
4.
Low-doped etch stopping for micromechanical device production,
机译:
用于微机械器件生产的低掺杂蚀刻停止,
作者:
David B. Murfett
;
Univ. of South Australia
;
Adelaide SA
;
Australia
;
Malcolm R. Haskard
;
Univ. of South Australia
;
Adelaide SA
;
Australia
;
Alan J. Marriage
;
Univ. of South Australia
;
Adelaide SA
;
Australia.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
5.
Projection displays and MEMS: timely convergence for a bright future
机译:
投影显示器和MEMS:及时融合,共创美好未来
作者:
Larry J. Hornbeck
;
Texas Instruments Inc.
;
Dallas
;
TX
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
6.
Etching technology and applications for through-the-wafer silicon etching
机译:
晶圆硅蚀刻的蚀刻技术及其应用
作者:
Author(s): David R. Craven Alcatel Comptech Inc. San Jose CA USA
;
Keven Yu Alcatel Comptech Inc. San Jose CA USA
;
Tam Pandhumsoporn Alcatel Comptech Inc. San Jose CA USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
7.
Electroplated nickel mold insert for LIGA
机译:
用于LIGA的电镀镍模具插件
作者:
Vikas Galhotra
;
Louisiana State Univ.
;
Baton Rouge
;
LA
;
USA
;
Venkat Sangishetty
;
Louisiana State Univ.
;
Baton Rouge
;
LA
;
USA
;
Evan Ma
;
Louisiana State Univ.
;
Baton Rouge
;
LA
;
USA
;
Kevin W. Kelly
;
Louisiana State Univ.
;
Baton Rouge
;
LA
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
8.
Examination of glass-silicon and glass-glass bonding techniques for microfluidic systems
机译:
检验微流体系统中的玻璃-硅和玻璃-玻璃键合技术
作者:
Norman F. Raley
;
Lawrence Livermore National Lab.
;
Livermore
;
CA
;
USA
;
J.C. Davidson
;
Lawrence Livermore National Lab.
;
Livermore
;
CA
;
USA
;
Joseph W. Balch
;
Lawrence Livermore National Lab.
;
Livermore
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
9.
Micromachining and focused ion beam etching of Si for accelerometers
机译:
硅用于加速度计的微加工和聚焦离子束刻蚀
作者:
D.F. Moore
;
Univ. of Cambridge
;
Cambridge
;
Cambs
;
United Kingdom
;
S.C. Burgess
;
Univ. of Cambridge
;
Cambridge Cambs
;
United Kingdom
;
H.-S. Chiang
;
Univ. of Cambridge
;
Cambridge Cambs
;
United Kingdom
;
H.Klaubert
;
Univ. of Cambridge
;
Cambridge Cambs
;
United Kingdom
;
N.Shibaike
;
Matsushita Research Institute
;
Cambridge Cambs
;
United Kingdom
;
T.Kiriyama
;
Univ. of Tokyo
;
Cambridge Cambs
;
United Kingdom.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
10.
Novel silicon fabrication process for high-aspect-ratio micromachined parts
机译:
高纵横比微加工零件的新型硅制造工艺
作者:
James G. Fleming
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Carole C. Barron
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
11.
Recent trends in silicon micromachining technology
机译:
硅微加工技术的最新趋势
作者:
Hal Jerman
;
EGG IC Sensors
;
Milpitas
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
12.
Low-doped etch stopping for micromechanical device production
机译:
用于微机械器件生产的低掺杂蚀刻停止
作者:
Author(s): David B. Murfett Univ. of South Australia Adelaide SA Australia
;
Malcolm R. Haskard Univ. of South Australia Adelaide SA Australia
;
Alan J. Marriage Univ. of South Australia Adelaide SA Australia.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
13.
Fabrication of bulk silicon holding structures for mounting of optical fibers in v-grooves
机译:
制造用于在v型槽中安装光纤的块状硅固定结构
作者:
Carola Strandman
;
Uppsala Univ.
;
Uppsala
;
Sweden
;
Ylva Baecklund
;
Uppsala Univ.
;
Uppasla
;
Sweden.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
14.
Microchannel heat exchangers for advanced climate control
机译:
微通道换热器,用于高级气候控制
作者:
Peter M. Martin
;
Pacific Northwest Lab.
;
Richland
;
WA
;
USA
;
Wendy D. Bennett
;
Pacific Northwest Lab.
;
Richland
;
WA
;
USA
;
John W. Johnston
;
Pacific Northwest Lab.
;
Richland
;
WA
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
15.
Patterned eutectic bonding with Al/Ge thin films for MEMS
机译:
MEMS用Al / Ge薄膜进行共晶键合
作者:
Paul M. Zavracky
;
Northeastern Univ.
;
Boston
;
MA
;
USA
;
Bao Vu
;
Northeastern Univ.
;
Boston
;
MA
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
16.
Tunneling tip protection for a bulk micromachined accelerometer
机译:
散装微机械加速度计的隧道尖端保护
作者:
Paul M. Zavracky
;
Northeastern Univ.
;
Boston
;
MA
;
USA
;
Bob McClelland
;
Northeastern Univ.
;
Boston
;
MA
;
USA
;
Jianchao Wang
;
Northeastern Univ.
;
Boston
;
MA
;
USA
;
Frank T. Hartley
;
Jet Propulsion Lab.
;
Pasadena
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
17.
Combined TMAH and HF sacrificial layer etching technique for surface micromachined devices
机译:
TMAH和HF牺牲层联合蚀刻技术用于表面微机械器件
作者:
Thomas Lisec
;
Fraunhofer-Institut fuer Siliziumtechnologie
;
Berlin
;
Germany
;
Martin Kreutzer
;
Fraunhofer-Institut fuer Siliziumtechnologie
;
Berlin
;
Germany
;
Beatrice Wenk
;
Fraunhofer-Institut fuer Siliziumtechnologie
;
Berlin
;
Germany
;
Bernd Wagner
;
Fraunhofer-Institut fuer Siliziumtechnologie
;
Berlin
;
Germany.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
18.
Micromolded structures for integrated optical sensors
机译:
集成光学传感器的微成型结构
作者:
Lothar U. Kempen
;
Paul Scherrer Institute
;
Zurich
;
Switzerland
;
Rino E. Kunz
;
Paul Scherrer Institute
;
Zurich
;
Switzerland
;
Michael T. Gale
;
Paul Scherrer Institute
;
Zuerich
;
Switzerland.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
19.
SOI-based micromechanical process
机译:
基于SOI的微机械过程
作者:
P.Greiff
;
Charles Stark Draper Lab.
;
Cambridge
;
MA
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
20.
Characterization of electroformed nickel microstructures
机译:
电铸镍微结构的表征
作者:
Qian Shi
;
General Motors Corp.
;
Warren
;
MI
;
USA
;
Shih-Chia Chang
;
General Motors Corp.
;
Warren
;
MI
;
USA
;
Michael W. Putty
;
General Motors Corp.
;
Warren
;
MI
;
USA
;
David B. Hicks
;
General Motors Corp.
;
Warren
;
MI
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
21.
Laser vibrometer system to examine the dynamic modal analysis of resonant micromechanical structures
机译:
激光振动计系统检查共振微机械结构的动态模态分析
作者:
David Wood
;
Univ. of Durham
;
S Gosforth
;
Tyne/Wear
;
United Kingdom
;
J.S. Burdess
;
Univ. of Newcastle-upon-Tyne
;
Newcastle upon Tyne
;
United Kingdom
;
R.Pitcher
;
Univ. of Newcastle-upon-Tyne
;
Newcastle-upon-Tyne
;
United Kingdom
;
Alun J. Harris
;
Univ. of Newcastle-upon-Tyne
;
Newcastle-upon-Tyne
;
United Kingdom
;
Jane L. Cruickshank
;
Univ. of Newcastle-upon-Tyne
;
Newcastle-upon-Tyne
;
United Kingdom.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
22.
Out-of-plane microstructures using stress engineering of thin films
机译:
使用薄膜应力工程的平面外微结构
作者:
Chia-Lun Tsai
;
Dartmouth College
;
Hanover
;
NH
;
USA
;
Albert K. Henning
;
Dartmouth College
;
Hanover
;
NH
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
23.
Deposition of thick zinc oxide films with a high resistivity
机译:
沉积具有高电阻率的厚氧化锌膜
作者:
Norbert Schwesinger
;
Technical Univ. Ilmenau
;
Ilmenau
;
Germany
;
Heike Bartsch
;
Technical Univ. Ilmenau
;
Ilmenau
;
Germany
;
Frank Moeller
;
Technical Univ. Ilmenau
;
Ilmenau
;
Germany.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
24.
Dry micromachining of high-aspect-ratio Si for microsensors
机译:
高纵横比硅干微机械加工
作者:
Stella W. Pang
;
Univ. of Michigan
;
Ann Arbor
;
MI
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
25.
Infrastructure considerations for the emerging MEMS markets
机译:
新兴MEMS市场的基础设施注意事项
作者:
Steven Walsh
;
SEMI
;
New Jersey Institute of Technology
;
Hewitt
;
NJ
;
USA
;
Walid El Nadi
;
SEMI
;
New Jersey Institute of Technology
;
Hewitt
;
NJ
;
USA
;
Robert Boylan
;
Rensselaer Polytechnic Institute
;
Troy
;
NY
;
USA
;
D.S. Narang
;
Rensselaer Polytechnic Institute
;
Troy
;
NY
;
USA
;
Robert O. Warrington
;
JR.
;
Louisiana Tech Univ.
;
Ruston
;
LA
;
USA
;
Alan Jung
;
SEMI
;
Mountain View
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
26.
Laser LIGA: a cost-saving process for flexible production of microstructures
机译:
激光LIGA:节省成本的过程,可灵活地生产微结构
作者:
Michael Abraham
;
Institute for Microtechnology GmbH
;
Mainz
;
Germany
;
Johannes Arnold
;
Institute for Microtechnology GmbH
;
Mainz-Hechtsheim
;
Germany
;
Wolfgang Ehrfeld
;
Institute for Microtechnology GmbH
;
Mainz-Hechtsheim
;
Germany
;
K.Hesch
;
Institute for Microtechnology GmbH
;
Mainz-Hechtsheim
;
Germany
;
H.Moebius
;
Institute for Microtechnology GmbH
;
Mainz-Hechtsheim
;
Germany
;
T.Paatzsch
;
Institute for Microtechnology GmbH
;
Mainz-Hechtsheim
;
Germany
;
C.Schultz
;
Institute for Microtechnology GmbH
;
Mainz-Hechtsheim
;
Germany.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
27.
Material and processing issues for the monolithic integration of microelectronics with surface-micromachined polysilicon sensors and actuators
机译:
微电子与表面微加工的多晶硅传感器和执行器的单片集成的材料和处理问题
作者:
James H. Smith
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Stephen Montague
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Jeffry J. Sniegowski
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
28.
MEMS infrastructure: the multiuser MEMS processes (MUMPs)
机译:
MEMS基础设施:多用户MEMS工艺(MUMP)
作者:
Karen W. Markus
;
Microelectronics Ctr. of North Carolina
;
Research Trian Park
;
NC
;
USA
;
David A. Koester
;
Microelectronics Ctr. of North Carolina
;
Research Trian Park
;
NC
;
USA
;
Allen Cowen
;
Microelectronics Ctr. of North Carolina
;
Research Trian Park
;
NC
;
USA
;
Ramu Mahadevan
;
Microelectronics Ctr. of North Carolina
;
Research Trian Park
;
NC
;
USA
;
Vijay R. Dhuler
;
Microelectronics Ctr. of North Carolina
;
Research Trian Park
;
NC
;
USA
;
D.Roberson
;
Microelectronics Ctr. of North Carolina
;
Research Trian Park
;
NC
;
USA
;
L.Smith
;
Microelectronics Ctr. of North Carolina
;
Research Trian Park
;
NC
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
29.
Advanced silicon etching using high-density plasmas
机译:
使用高密度等离子体的先进硅蚀刻
作者:
Jy Bhardwaj
;
Surface Technology Systems
;
Ltd.
;
Abercarn
;
Gwent
;
United Kingdom
;
H.Ashraf
;
Surface Technology Systems
;
Ltd.
;
Abercarn
;
Gwent
;
United Kingdom.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
30.
Novel high-power Nd:YLF laser for CVD-diamond micromachining
机译:
用于CVD金刚石微加工的新型高功率Nd:YLF激光器
作者:
Ronald D. Schaeffer
;
Resonetics
;
Inc.
;
Nashua
;
NH
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
31.
Novel low-stress SiO2-xFx film deposited by room-temperture liquid-phase deposition method
机译:
室温液相沉积法沉积的新型低应力SiO2-xFx薄膜
作者:
Ching-Fa Yeh
;
National Chiao Tung Univ.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Shyue-Shyh Lin
;
National Chiao Tung Univ.
;
Hsinchu
;
Taiwan.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
32.
Study on mechanical characteristics of PZT thin film for sensors and actuators
机译:
用于传感器和执行器的PZT薄膜的机械特性研究
作者:
Shyuichi Wakabayashi
;
Omron Corp.
;
Tsukuba-city
;
Ibaraki
;
Japan
;
Hiromi Totani
;
Omron Corp.
;
Tsukuba-City
;
Ibaraki
;
Japan
;
Minoru Sakata
;
Omron Corp.
;
Tsukuba-city
;
Ibaraki
;
Japan
;
Masaaki Ikeda
;
Omron Corp.
;
Tsukuba-city
;
Ibaraki
;
Japan
;
Hiroshi Goto
;
Omron Corp.
;
Tsukuba-city
;
Ibaraki
;
Japan
;
Masashi Takeuchi
;
Omron Corp.
;
Tsukuba-city
;
Ibaraki
;
Japan
;
Tuneji Yada
;
Omron Corp.
;
Tsukuba-shi
;
Ibaraki
;
Japan.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
33.
Surface microcomponents fabricated by UV depth lithography and electroplating
机译:
通过UV深度光刻和电镀制成的表面微组件
作者:
Bernd Loechel
;
Fraunhofer-Institut fur Siliziumtechnologie
;
Berlin
;
Germany
;
Andreas Maciossek
;
Fraunhofer-Institut fur Siliziumtechnologie
;
Berlin
;
Germany.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
34.
Deep x-ray lithography for micromechanics
机译:
用于微力学的深层X射线光刻
作者:
Todd R. Christenson
;
Sandia National Labs.
;
Alburquerque
;
NM
;
USA
;
Henry Guckel
;
Univ. of Wisconsin/Madison
;
Madison
;
WI
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
35.
Design techniques for surface-micromachining MEMS processes
机译:
表面微加工MEMS工艺的设计技术
作者:
John H. Comtois
;
Air Force Institute of Technology
;
Wright-Patterson AFB
;
OH
;
USA
;
Victor M. Bright
;
Air Force Institute of Technology
;
Wright-Patterson AFB
;
OH
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
36.
Fabrication issues in micromachined tunable optical filters
机译:
微机械可调光学滤波器的制造问题
作者:
James F. Klemic
;
Case Western Reserve Univ.
;
Cleveland
;
OH
;
USA
;
J. Marcos Sirota
;
NASA Goddard Space Flight Ctr.
;
Greenbelt
;
MD
;
USA
;
Mehran Mehregany
;
Case Western Reserve Univ.
;
Cleveland
;
OH
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
37.
Injection molding of LIGA and LIGA-similar microstructures using filled and unfilled thermoplastics
机译:
使用填充和未填充的热塑性塑料对LIGA和类似LIGA的微结构进行注塑成型
作者:
Robert Ruprecht
;
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
;
Karlsruhe
;
Germany
;
Walter Bacher
;
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
;
Karlsruhe
;
Germany
;
Juergen H. Hausselt
;
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
;
Karlsruhe
;
Germany
;
Volker Piotter
;
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
;
Karlsruhe
;
Germany.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
38.
Microstructuring by excimer laser
机译:
受激准分子激光的微结构化
作者:
Erol C. Harvey
;
Exitech Ltd.
;
Long Hanborough Oxford
;
United Kingdom
;
Phil T. Rumsby
;
Exitech Ltd.
;
Long Hanborough Oxford
;
United Kingdom
;
Malcolm C. Gower
;
Exitech Ltd.
;
Long Hanborough Oxford
;
United Kingdom
;
Jason L. Remnant
;
Exitech Ltd.
;
Long Hangborough
;
United Kingdom.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
39.
Mechanical loss measurements of vacuum-operated single-crystal silicon microresonators
机译:
真空操作单晶硅微谐振器的机械损耗测量
作者:
Robert E. Mihailovich
;
Cornell Univ.
;
Ft. Monmouth
;
NJ
;
USA
;
Noel C. MacDonald
;
Cornell Univ.
;
Ithaca
;
NY
;
USA.
会议名称:
《Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
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