...
机译:通过氟注入抑制硼在硅和硅锗中的瞬态增强扩散
boron; diffusion; silicon; silicon germanium-; SI; ENERGY; THRESHOLD; JUNCTIONS;
机译:通过氟注入抑制硼在硅和硅锗中的瞬态增强扩散
机译:用高能硅共注入物缓和瞬态增强硼在硅中的扩散
机译:氟增强硼在锗预变形硅中的扩散
机译:预先注入非晶硅中的氟注入抑制硼的扩散
机译:离子注入引起的硼掺杂硅瞬态失活和扩散过程的物理学和建模。
机译:极紫外瞬态吸收光谱法探测硅锗合金中超快的载热和俘获
机译:通过高能氟注入减少硼热扩散和消除硼瞬态增强的硅扩散