机译:Ru(0)金属有机前驱体和O_2沉积Ru薄膜的原子层沉积
机译:Ru(0)金属有机前驱体和O_2沉积Ru薄膜的原子层沉积
机译:使用新型零价金属有机前体,(乙苯)(1,3-丁二烯)Ru(0)和分子氧通过原子层沉积法沉积钌和二氧化钌薄膜
机译:使用Ru(EtCp)(2)前驱体和氧气对钌和氧化钌薄膜进行原子层沉积
机译:使用各种Ru(0)金属有机前驱体和分子O_2增强成核的Ru薄膜的低温原子层沉积
机译:金属有机化学气相沉积和原子层沉积方法,用于从二烷基酰胺前体中生长ha基薄膜,用于高级CMOS栅极堆叠应用
机译:通过等离子体增强的原子层沉积使用四甲基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl4)前体制备的锡薄膜的数据集
机译:使用Ru(EtCp)2前驱体在双轴织构Ni衬底上金属Ru薄膜的金属有机化学气相沉积
机译:脉冲激光沉积外延sr(Ru(sub x)sn(sub 1-x))O(sub 3)薄膜电极和KNbO(sub 3)/ sr(Ru(sub x)sn(sub 1-x)) O(sub 3)双层