公开/公告号CN111876748A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-03
原文格式PDF
申请/专利权人 北京大学深圳研究生院;
申请/专利号CN202010686717.1
申请日2020-07-16
分类号C23C16/30(20060101);C23C16/455(20060101);
代理机构44268 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人徐凯凯
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城北大园区H栋208室
入库时间 2023-06-19 08:47:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-29
授权
发明专利权授予
机译: 制备铌酸锂薄膜的铌酸锂前驱体颗粒,其制备方法,制备铌酸锂薄膜的铌酸锂前驱体溶液和制备铌酸锂薄膜的方法
机译: 硫化锡前驱体,使用硫化锡前驱体的薄膜及其制备方法
机译: 烷基锌卤化物氧化锌前驱体和一种以提供快速沉积速度和高生产率的能力来沉积基于氧化锌的薄膜的方法