前驱液对金属有机物沉积YBCO薄膜质量的影响

摘要

以Y、Ba、Cu的乙酸盐为原料,以丙酸、吡啶、甲醇等为溶剂,配制得到YBCO薄膜的前驱液.以单晶(100)LaAlO3为基底,4000r/min的转速将前驱液旋转涂覆90s后,在130℃干燥10min,如此循环三次得到YBCO预处理膜.随后在氩气下.450℃恒温60min,再在790℃下恒温180min,之后在470℃下吸氧240min,得到最终YB-CO薄膜.通过X射线衍射分析薄膜取向、扫描电镜观察薄膜表面形貌、标准四引线法测量薄膜的超导转变温度Tc和临界电流密度Jc,考察了前驱液组成对YBCO薄膜表面质量的影响.结果表明,以Y、Ba、Cu的乙酸盐为前驱物,以丙酸为溶剂,以吡啶为螯合剂形成的前驱液制备的薄膜质量最好,当热处理温度为830℃时,该薄膜的Jc值达2.4×104A/Cm2(77 K,0T),其Tc为89K