高精度最高速の検査性能を実現した三次元二次元ウエーハバンプ検査装置：WVI-6000α

摘要

技術開発速度の速いウエーハ分野での適用を目的としたウエーハバンプ検査装置を開発した。 本装置は、Φ300mmウエーハを高精度で1時間に16枚という速度で検査することができる。その製品の概要について紹介する。