新規構造小型音波モータ－圧電セラミックスを用いた精密位置決め用モータの提案

摘要

我々は小型かつ長ストロークを実現できる精密位置決めシステムとして小型USMを開発している。本稿では弊社が開発した新規構造の小型USMの諸特性とその応用製品を紹介する。