低電力、高性能LSIに向けたCMOSプロセス·デバイス技術開発－サブ100nm世代の課題と解決策

摘要

今後の低電力、高性能LSIに向けて、サブ100nm世代で要求されるプロセス·デバイス技術にっいて、先端の微細CMOS技術による性能改善のシナリオ、ローリークなど多様化するデバイス要求、配線を含めたLSIのトータル性能の改善に向けた課題と取組みについて紹介する。