電界電子放出特性その場解析アナログ回路の改良

摘要

電界放出電子源の特性変動を調べるために開発している電界電子放出特性その場解析装置のアナログ回路の改良を行った。従来の回路では、オフセット補償が十分ではなく、出力の電圧値に比較的大きな誤差が含まれていた。 今回、オフセット補償されているオペアンプを利用することでFowler-Nordheimプロッタでは誤差をおよそ2％程度に低減できた。 最も誤差が大きくなるのは指数化の演算を行う1/Vを得る回路であることが明らかとなった。