真空中固体金属二次电子发射的Monte-Carlo模拟

摘要

二次电子的发射在生产实践中有着广泛的应用,但其发射机理和运动过程复杂,所以本文建立了一个包含二次电子激发、在固体内部传输和最后逸出固体表面的二次电子系统模型.采用Monte-Carlo的模拟方法模拟真空中金属的二次电子的运动情况,并探讨其激发位置分布与入射能量之间的关系.给出了金属的二次电子的发射系数的仿真结果与实际结果的测量值比较.仿真结果表明:本文建立的二次电子系统模型能较好地反映实际情况.通过该模型仿真,可以定量得到二次电子发射系数与一次电子的入射能量的关系.