高性能ふっ素系エラストマー半導体製造のシール材料，自動車などの新規用途への展開

摘要

高性能ゴム·エラストマー材料としてふっ素ゴムはよく知られており，耐熱性，耐薬品性が特に要求される用途には欠かせない材料として使われている。