超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発

摘要

当初，静圧軸受の軸受すきまをナノメートルオーダで動かすという発想に著者自身半信半疑であったが，今では，実験をすればするほど，軸受の素直さ，したたかさに舌を巻く思いでいる．機器の超精密化の流れを受け，現在，流体／気体軸受の需要はますます増えており，今後一層増え続けるであろう．軸受およびアクチュエータの適所適材化も，さらに進むに違いない．本稿のような取り組みが，また新たな技術の進歩に繋がることを期待してやまない．