超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発

摘要

超精密装置の代表ともいえる半導体露光装置の最新の露光方法はフッ化アルゴンエキシマレーザによる液浸露光であり，レンズとウェーハの間にある水の屈折率を利用して微細な描画パターンを実現するものである．