超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発 （第4報：多連型アクチュエータの基礎特性）

摘要

本報では，第1報で提案したアクチュエータ（以下1連型と呼ぶ）を改良した，「多連型空気圧サーボ軸受アクチュェータ」（以下多連型と呼ぶ）を提案する．また，提案した多連型アクチュエータの作動原理，基礎特性を明らかにし，1連型と比較することで，位置決め機構としての有用性を検討するものとする．