压电陶瓷致动器在纳米定位系统中的应用

摘要

本文介绍了一种基于尺蠖运动原理的纳米级步距压电致动器，配以适当的驱动信号，使其实现连续平稳的运动。系统控制方面，采用C51软件编程，以中断方式通过单片机系统实现波形控制，控制信号通过驱动电源加载到压电致动器。通过试验对压电致动器的性能进行了测试，结果表明：致动器的运动位移是线性的，行程大于10mm，最小步距可达亚微米级。