高強度真空紫外光源の開発とその応用

摘要

現在はこれらの希ガスエキシマレーザー光源とその応用に関する研究開発を継続している。2006年度に文部科学省特別研究経費（大学間連携）により、大阪大学レーザーエネルギー学研究センターとの共同研究として、超短パルス·真空紫外コヒーレント光発生システムの開発を行った。また2012年度にはレーザーシステムを増強し、VUV光の高出力化を計っている。本報告では、真空紫外超短パルスレーザーの開発について、現在までに得られた結果を紹介すること共に、今後の応用に関する展開の一例として、真空紫外光を用いた表面分析にについて紹介する。