173 nm真空紫外光源的研制

摘要

非相干紫外或真空紫外光源的应用已成为众多工业部门中一项基础性和关键性的技术.本文着重介绍了介质阻挡放电产生173 nm紫外光的原理,并设计制作了利用此方法获得173 nm真空紫外光的装置.试验结果表明,用石英玻璃作介质阻挡层,Xe气体作为放电气体,能够获得峰值波长为175 nm,半高宽为12 nm的窄带大面积真空紫外光,并对其输出光谱进行分析.