希土類プラズマ極端紫外光源－レーザー生成ガドリニウムプラズマによる6.7-nm EUV光源

摘要

本論文では波長6.7nmのGdプラズマEUV光源の放射特性について述べた．膨張損失，レーザー波長依存性，初期密度依存性について調べたところ，波長13.5 nmにおけるSnプラズマと同様な振る舞いを示すことが明らかになった．低密度ターゲットを用いたときの変換効率は約1.3％であった．更なる変換効率の向上のためには，自己吸収効果を抑制した低初期密度ターゲットや低密度プラズマを生成することが重要である．