激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法

摘要

本申请涉及一种激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法。其中，激光等离子体极紫外光源，真空靶室、光学透镜模组、液滴靶发生器和用于收集极紫外光的收集镜；激光通过光学透镜模组形成的光学焦点位于真空靶室的内部；液滴靶发生器用于向真空靶室提供液滴；液滴在真空靶室的移动线路经过光学焦点，以使液滴靶发生器产生的液滴与激光在光学焦点处产生极紫外光；收集镜的收集方向与激光入射方向垂直，且不与液滴的移动方向平行。光学透镜模组的焦点处于真空环境，避免了对其它设备的损坏。同时，本申请的收集器的收集方向与激光入射方向垂直，收集镜的中间不需要开设孔，从而可以收集到更多的光，提高收集效率，进一步的提高了光源的转换效率。