スパッタ法により成膜したCoFe_2O_4 薄膜の微細構造と磁気特性

摘要

近年、データ量の増加に伴い、磁気記録媒体には大容量高記録密度化が求められている。CoFe_2O_4（CFO）は薄膜化することで非常に大きな保磁力を示し、安価に作製可能であることから高密度磁気記録媒体としての応用が期待されている材料である。本研究では O_2 ガス分圧を制御しながら反応性スパッタ法により CFO 薄膜を合成石英ガラス基板上に成膜し、その微細構造および磁気特性について調べたので報告する。