(P57-P0077)多元分離式スパッタリング法により作製したCo-Dy-F ナノ複相薄膜の構造とトンネル磁気誘電特性

摘要

本研究グループでは、MgF2 セラミックスマトリックス中にFe-Co ナノ粒子を分散させたFe-Co-Mg-F ナノ複相薄膜において、磁場の印加により常温で誘電率が変化するトンネル磁気誘電(TMD)効果を見出した[1]。本講演では、マトリックスとして、ランタン系のフッ化物であり生成熱がMgF2(-1124 kJ/mol) よりおよそ1.5 倍大きいことからナノ複相構造の生成が期待できるDyF3(-1692kJ/mol)を用いて、Co-Dy-F ナノ複相薄膜を作製した。得られた薄膜の組成、膜構造と誘電特性、磁気特性及びTMD 効果を調べた。