Об особенностях детектирования водорода полупроводниковой структурой, полученной на подложке бH-SiC комбинированным методом ионной имплантации и осаждения платины

摘要

Приведены результаты сравнительного исследования электрофизических свойств газосенсорных полу-проводниковых структур, полученных импульсным лазерным осаждением платины, ионной имплантацией платины, а также комбинированным методом имплантации и осаждения платины на подложку n-бH-SiC. Двухслойные структуры показали более сильный отклик на газообразный водород при более выраженном диодном характере вольт-амперных характеристик для высоких температур ~ 500° С, чем однослойные ионно-имплантированные структуры. Кроме того, двухслойные структуры обладали большей воспроиз-водимостью параметров вольт-амперных характеристик при термоциклировании в водородосодержащей среде, чем обычные тонкопленочные структуры на подложке SiC. Исследованы химическое состояние ионно-имплантированной платины и структура тонкопленочных слоев после длительных испытаний в осложненных условиях. Рассмотрены возможные механизмы влияния платины на токопрохождение в ионноимплантированном слое и его зависимость от состава окружающей газовой среды.