プロセスプラズマにおけるプラズマ計測の基礎-2.プロセスプラズマにおけるプロ一ブ計測の基礎

摘要

電子密度を測定する簡便な方法としてょく用いられるラングミュアプロ一ブが適用できないょうな材料プロセス用プラズマでも利用可能な電子密度測定用プロ一ブとして,表面波プロ一ブ（プラズマ吸収プロ一ブ）おょび力一リングプロ一ブを解説している．いずれもマイクロ波領域での共振現象を利用したプロ一ブで,絶縁膜の堆積が測定に及ぼす影響が小さい等の特徴を有している．各プロ一ブにおいて,プロ一ブ構造の概要と電子密度の算出原理と方法を述ベるとともに,表面波プロ一ブでは2本のプロ一ブを組み合わせたデュアル表面波プロ一ブにょる電子密度と電子温度の同時計測ヘの機能拡張とフロロ力一ボンプラズマでの実測例を,また力一リングプロ一ブでは酸素プラズマにょるアツシングプロセス中での電子密度の挙動とアツシングプロセスにおける終点検出ヘの適用例を示す．