プラズマプロセスにおける吸収分光計測の基礎

摘要

吸収分光法を用いたプラズマ診断技術は,プラズマ内部の活性種の振る舞いを定量的に計測できるため,プロセスプラズマの研究開発に重要な役割を果たしている．本章では,プラズマプロセスの吸収分光計測として,プラズマ内で生成される原子状ラジ力ルを計測する真空紫外吸収分光技術の基礎から応用までを解説する．とくに吸収分光法にプラズマを光源として用いる場合において,プラズマ光源に求められる特性や計測対象である原子にょる光吸収率の計測結果からその密度を求める上での注意点にっいて述ベる．また,その応用例として材料や薄膜表面上での原子の表面損失確率の計測や,近年盛hに応用研究が進められている大気圧プラズマにょって生成される原子の定量的な計測結果にっいて紹介する．