3.プロセスプラズマにおける発光分光計測の基礎

摘要

発光分光計測はプラズマから自然に放出される発光を分析してプラズマの内部状態に関する情報を得るプラズマ計測法である.短時間で比較的容易に測定系を構築でき,また,測定デ一タも容易に取得できるため,様々なプラズマ計測法の中で実プロセスの計測に有効な手法といえる.その反面,測定結果からプロセスの改善?理解に有効な情報を引き出すには,発光励起種の生成過程など,プラズマ発光に関する適切な理解が必要となる.本章では,発光分光法の測定系やそれにょってプラズマ状態を正しく把握するために必要な基礎的事項や注意すベきポイントにっいて述ベる.さらに,アクチノメリ一を利用したN_2誘導結合プラズマの解離度の計測,微量添加希ガス発光分光法にょる電子温度の計測例にっいて取り上げ,その概要にっいて説明する.