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簇射极板及采用该簇射极板的等离子体处理装置

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本发明提供一种等离子体处理用簇射极板，是由多个配管形成的等离子体处理用簇射极板(31)，配管(31A3)由多孔质材料构件(44)和金属构件(41)构成，该多孔质材料构件(44)被沿着配管配置，对于原料气体具有规定的气孔率，朝向外侧呈凸状；该金属构件(41)与多孔质材料构件(44)对向配置，与多孔质材料构件(44)一起形成原料气体流路(43)。可以实现一种喷嘴构造，使原料气体呈扩散状喷出。

著录项

公开/公告号CN101305451B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-04

原文格式PDF
申请/专利权人国立大学法人东北大学;东京毅力科创株式会社;
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申请/专利号CN200680041735.2
发明设计人大见忠弘;松冈孝明;
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申请日2006-11-07
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李贵亮
地址日本国宫城县
入库时间 2022-08-23 09:10:17

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-12-24

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/31 授权公告日:20120704 终止日期:20131107 申请日:20061107

专利权的终止
2012-07-04

授权

授权
2009-01-07

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-11-12

公开

公开

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