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可変面横型超LSI用電子ビーム露光装置について理化学研究所·情報科学研究室における研究開発の一例

机译:用于横向和水平超级LSI的里约束曝光装置的研发示例

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摘要

理イヒ学研究所の情報科学研究室は1960年に新設されたもので,初代主任研究員であった高橋秀俊が退任した1968年に後藤英一が主任研究員となり,東京大学理学部物理学科,情報科学科との兼任で,1991年の定年まで研究を統けた.後藤主任時代の情報科学研究室ではコンピュータの基礎と応用の両面にわたり多様な研究が展開されたが,この論文で取り上げる電子ビーム霹光装置の研究開発はその一つで,題LSI製造装置に利用され,襲用化の面で大きな成果を上げたものであった.
机译:Rio水文的信息科学和技术实验室是1960年的新建立,Takahashi Hidetoshi是一名小学高级研究员退休,Goto Hiichi是一名首席研究员,以及东京物理系,同时与该部门同时,我们决定直到1991年的去年。 在Goto转到时代的信息科学实验室中,通过计算机的基础和应用开发了各种研究,但电子束灯装置的研究和开发占据了本文的顶级LSI制造设备之一。这是在攻击方面的一大大成就。

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